Polymers for microelectronics - resists and dielectrics
- Författare
- (Larry F. Thompson, editor, C. Grant Wilson, editor, Seiichi Tagawa, editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| American Chemical Society | 1994 | USA, Washington | xii, 571 sidor. ill. |